中微公司取得刻蚀化合物专利授权，在半导体制造关键环节积累自主技术。国产设备在刻蚀工艺上从“能用”向“有自己的工… ···

中微公司（SH:688012）交付全球首台高选择性刻蚀设备，标志国产刻蚀设备在三维芯片制造关键环节取得突破，设… ···